店铺综合评价:
扩散炉应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸
产品特点:◆主机为水平一至四管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制◆采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性◆工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用质量流量计(MFC)进口◆控温精度高,温区控温稳定性好;◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
扩散炉主要技术指标1、工艺说明1.1氧化:干氧工艺,湿氧工艺(去离子水、氢氧合成-内/外点火)1.2扩散:硼扩、磷扩(液态源、固态源等)1.3合金、退火等工艺
2、系统组成:主机(加热体、石英/SiC管、功率组件等)、自动送片(悬臂-SiC)净化工作台、气路气源系统(气源柜)、计算机控系统等组成
3、控制方式:手动送片/自动送片
4、扩散炉配置(可选):4.1仪表控制/计算机控制4.2工艺管(水平结构):1-4管4.3工艺规格:2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片(工艺腔体为石英或碳化硅)4.4恒温区长度:1100mm/800mm/600mm/450mm4.5晶圆装载:悬臂式,刚玉/碳化硅杆,碳化硅桨4.6工作台:有净化/无净化4.7工艺气路:对应的工艺气路,气路阀门组件采用国际优质品牌产品(如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等),MFC国际优质(如MKS、UNIT、STEC等)或国产优质
5、扩散炉主要技术参数:5.1工作温度:200~1300℃5.2加热体控制点:3/5点5.3炉体恒温区:450mm/600mm/800mm/1100mm5.4恒温区精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃5.5单点温度稳定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h5.6最大可控升温速度:25℃/min5.7最大降温速度:5℃/min(900~1300℃)5.8供电:三相四线,380VAC/50HZ
6、结构尺寸:6.1结构:水平扩散炉/垂直扩散炉
时宝斌
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供应商:时宝斌
青岛赛尔微电子有限公司
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